|
Ознакомление с установкой
Подготовка и проведение виртуального эксперимента
|
ПОРЯДОК РАБОТЫ С СИМУЛЯТОРОМ УСТАНОВКИ
Симулятор служит для обучения работы на реальной установке, поэтому в нем заложена проверка на соблюдение правильной последовательности действий при запуске и выключении установки. В случае неверной последовательности действий пользователь получает сообщение об ошибке и подсказку с верной последовательностью операций.
Для корректной работы симулятора необходимо придерживаться следующей последовательности действий:
- Включить систему водяного охлаждения магнетрона и зоны агрегации. Включение сопровождается анимацией в области контура охлаждения зоны агрегации.
- Открыть вентиль баллона с аргоном.
- Установить на натекателе поток газа в диапазоне от 15 до 30 ст.см3/мин (sccm). При этом в зоне агрегации включается анимация потока газа.
- Включить блок питания магнетрона.
- Установить значение тока на блоке управления магнетроном в диапазоне от 100 до 300 мА. При этом в зоне агрегации включается анимация потока нанокластеров.
- Включить программу управления масс-спектрометром MesoQ. При этом открывается диалоговое окно программы.
- Выбрать желаемые единицы измерения (Working Units -> Mass / Diameter, размер нанокластеров или масса) в меню System
- Установить диапазон сканирования по размерам частиц от 1 до 20 нм или по массе частиц от 5 264 до 42 115 004 а.е.м. в области выбора диапазона сканирования.
- Включить высокое напряжение (HV Enabled) в меню System.
- Запустить масс-спектрометр кнопкой “Start” в области выбора диапазона сканирования.
- Сохранить полученный спектр.
Для корректного завершения работы выключение системы следует производить в следующем порядке:
- Остановить сканирование в программе управления масс-спектрометром кнопкой “Stop” в области выбора диапазона сканирования.
- Выйти из программы управления масс-спектрометром.
- Выключить питание магнетрона.
- Закрыть вентиль на баллоне с аргоном.
- Выключить систему водяного охлаждения.
|