|
Ознакомление с установкой
Подготовка и проведение виртуального эксперимента
|
ПОРЯДОК РАБОТЫ НА УСТАНОВКЕ
Для корректной работы системы осаждения нанокластеров Nanogen-50 с квадрупольным масс-фильтром необходимо придерживаться следующей последовательности действий:
- Отключить датчик вакуума в камере препарирования СВВ комплекса.
- Включить систему водяного охлаждения магнетрона и зоны агрегации.
- Отсечь камеру препарирования СВВ комплекса от аналитической камеры при помощи ручного СВВ затвора. При этом необходимо убедиться, что шток для передачи образцов полностью выдвинут и находится в камере препарирования.
- Открыть клапан отсечки турбомолекулярного насоса от загрузочной камеры СВВ комплекса, затем открыть заслонку между загрузочной камерой и камерой препарирования.
- Включить турбомолекулярный насос на откачку загрузочной камеры СВВ комплекса.
- Включить управляющий компьютер.
- Включить блок управления натекателями.
- Включить блок управления магнетроном.
- Включить систему откачки нанокластерного источника (если выключена).
- Установить при помощи редуктора давление аргона на входе натекателя равным 1 атм.
- Установить поток газа равным 20 ст.см3/мин (sccm).
- Установить значение тока на блоке управления магнетроном равным 100 мА, для этого необходимо нажать кнопку Prev, кнопкой OVP/UVL переключить источник питания в режим OVP, вращением ручки Current установить ток равным 0.100 А. Подать питание на магнетрон нажатием кнопки Out.
- Убедиться через смотровое окошко, что плазма в камере агрегации зажглась.
- Включить управляющий блок масс-спектрометра MesoQ. Нажать на передней панели блока кнопку “Remote”.
- Запустить на компьютере программу MesoQ control.
- Установить предел чувствительности масс-спектрометра 8 нА (System –> Gain –> 8 nA).
- Установить материал мишени в меню материалов.
- Установить диапазон сканирования по размерам частиц от 1 до 30 нм в области выбора диапазона сканирования.
- Включить высокое напряжение.
- Запустить масс-спектрометр кнопкой “Start” в области выбора диапазона сканирования.
ВНИМАНИЕ: после включение магнетрона до начала работы необходимо выдержать по крайней мере 5 минут, пока не будет удален оксидный слой с поверхности мишени и спектры нанокластеров не стабилизируются.
После настройки параметров нанокластерного источника необходимо закрыть заслонку для прекращения потока нанокластеров в камеру препарирования, подвести заготовленную подложку к выходной диафрагме нанокластерного источника. Затем для начала осаждения открыть заслонку.
После окончания осаждения нанокластеров на подложку выключение системы следует производить в следующем порядке:
- Остановить сканирование по массам в программе управления масс-спектрометром кнопкой “Stop” в области выбора диапазона сканирования.
- Выключить программу управления масс-спектрометром.
- Выключить блок управления масс-спектрометром.
- Выключить питание магнетрона, для этого нажать кнопку Out, затем кнопку выключения блока.
- Убрать поток газа до нуля, затем выключить блок управления натекателями.
- При помощи редуктора перекрыть поток газа от баллона. Закрыть вентиль на баллоне.
- Отсечь при помощи заслонки загрузочную камеру от камеры препарирования СВВ комплекса.
- Отсечь при помощи клапана загрузочную камеру от турбомолекулярного насоса, затем выключить насос.
|