Симулятор установки по формированию нанострутурированных материалов методом кластерного осаждения

Ознакомление с установкой

Подготовка и проведение виртуального эксперимента

Тесты для проверк знаний

1) Для чего служит установка Nanogen-50?
Для напыления тонких пленок
Для формирования нанокластеров
Для определения элементного состава нанокластеров
Для исследования физических процессов в плазме


2) Какой принцип используется в установке Nanogen-50 для формирования ансамбля нанокластеров?
термическое испарение твердотельной мишени и конденсация в газовой фазе
магнетронное распыление твердотельной мишени и конденсация на поверхности подложки
магнетронное распыление твердотельной мишени и конденсация в газовой фазе
термическое испарение твердотельной мишени и конденсация на поверхности подложки

3) Что характеризует параметр U/V, задаваемый в программе управления квадрупольного масс-фильтра?
отношение постоянного напряжения к амплитуде переменного напряжения, подаваемого на обкладки квадрупольного масс-фильтра
отношение постоянного напряжения, подаваемого на магнетронный источник, к средней скорости кластеров
отношение постоянной Планка к гравитационной постоянной
отношение скорости кластеров в потоке аргона к скорости кластеров в потоке гелия

4) Какие методы могут быть использованы для аттестации физических свойств наночастиц, осажденных на подложку?
оптическая микроскопия, сканирующая туннельная микроскопия, дефектоскопия
сканирующая туннельная спектроскопия и микроскопия, просвечивающая электронная микроскопия
методы исследования прочностных характеристик образца при разрыве, кручении и изгибе
метод экспертной оценки определения макроэкономических показателей при внедрении образца в технологическую цепочку производства микросхем нового поколения

5) Чем объяснить необходимость использования инертного буферного газа при работе нанокластерного источника.
травление ионами буферного газа магнетронной мишени, создание условий для конденсации наночастиц
экранировка внешнего потенциала Земли
транспортировка и отвод углеродосодержащих образований в систему откачки
формирование устойчивого магнитного поля в зоне агрегации нанокластеров

6) Опишите характерный вид зависимости размера нанокластеров от длины зоны агрегации
размер нанокластеров остается постоянным с изменением длины зоны агрегации
размер нанокластеров растет с увеличением длины зоны агрегации
размер нанокластеров уменьшается с увеличением длины зоны агрегации
размер нанокластеров ведет себя немонотонным образом с уменьшением длины зоны агрегации

7) С какой целью необходимо использовать дополнительный буферный газ гелий?
для получения наночастиц особо крупного размера
для улучшения вакуума в камере препарирования
для возможности травления поверхности кластеров, сформированных в атмосфере буферного газа, ионами гелия
для получения наночастиц малых размеров

8) Опишите характерный вид зависимости размера нанокластеров от тока на магнетроне.
размер нанокластеров остается постоянным с изменением тока на магнетроне
размер нанокластеров растет с увеличением тока на магнетроне
размер нанокластеров уменьшается с увеличением тока на магнетроне
размер нанокластеров ведет себя немонотонным образом с уменьшением тока на магнетроне

9) Зачем необходимо использовать масс-спектрометр в режиме масс-фильтра, то есть при фиксированном значении частоты, постоянного и переменного напряжения.
для получения ансамбля наночастиц с широким распределением по размерам
для получения ансамбля наночастиц с бимодальным распределением
получения ансамбля наночастиц с узким (близким к монодисперсному) распределением по размерам
для измерения распределения наночастиц по массе

10) На каком принципе построена работа квадрупольного масс-спектрометра?
движение заряженных частиц различной массы в переменном магнитном поле
движение заряженных частиц различной массы в переменном электрическом поле
движение нейтральных частиц различной массы с различной скоростью
движение частиц различного заряда и массы в электромагнитном поле